EPAC1988 Authors
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Author: Mencuccini, C.

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Design Study of a Synchrotron Radiation Source for X-ray Lithography 1483
  • M Bassetti, E. Bernieri, E. Burattini, A. Cattoni, V. Chimenti, C. Sanelli, S. Tazzari, F. Tazzioli (INFN, Frascati), C. Mencuccini (Dip. di Energetica, Univ. La Sapienza, Rome), L. Palumbo (Dip. di Energetica, Univ. La Sapienza, Rome and INFN-LNF), L. Picardi (ENEA, Frascati), Q. H. Chen (Univ. delle Scienze e Tecnologia della Cina, Hefei Anhui), R. Rinzivillo (University of Napoli)